控制器&驱动器维修
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◆核心零组件国产化研发、制造、销售
→电控国产化研发、制造、销售
→金属国产化研发、制造、销售
→工程材料国产化研发、制造、销售
→三通气动阀研发、制造、销售
◆设备翻新
→薄膜
→Dry Etch
→WET/FUR/SEM
◆国产化设备研发、制造、销售
CTI-CRYOGENICS 9600 Compressor
Sumitomo Controller
IS Series Controller
Shimadzu-岛津 TMP 系列控制器
Alcatel-阿尔卡特 ATH 系列控制器
Edwards-爱德华 STP 系列控制器
Panasonic MSD011AXX14
MITSUBISHI MR-J2S-10B-S087
NSK ESA-JL003AFQ-20
Mykrolis ENCOM2CN1
Brooks 146832-0015
Yaskawa XU-BCD20B1D
SGD-01AP R15248-6A-11 D0158B366210011 驱动
SCON-C-601-CC-0-2 A40679165 AF23
81195 97040700322 ZETR4
NSK ELA-B014CFT-03 B-6Y012
MITSUBISHI MR-J2S-350B-ED087
99082500223 6k4 18328
NSK ESA-J1003AFO-20 1-4172-700
YASKAWA SGDS-01A31AY566 DG13YM950850088
MSD011A1XX18 P04020034D
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