Pump维修保养
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◆核心零组件国产化研发、制造、销售
→电控国产化研发、制造、销售
→金属国产化研发、制造、销售
→工程材料国产化研发、制造、销售
→三通气动阀研发、制造、销售
◆设备翻新
→薄膜
→Dry Etch
→WET/FUR/SEM
◆国产化设备研发、制造、销售
Edwards Cryo Pump 0B Series
Sumitomo Cryo Pump SKZ-8L3 Series
Edwards Cryo Pump IS Series
EBARA A AV AW AA X AAS ESR EST系列
ADS ADP ACP RHV SD 系列
EBARA EV 系列
Edwards-爱德华 DP IH IXH IXM IXL GXS IGX 系列
涡轮分子泵 EDWARDS STP-A2203C
LEYBOLD TURBO MOLECULAR PUMP TW 250 S/TDS
FT-480W-W1N1 MITSUBISHI TURBO-MOLECULAR PUMP
ULVAC UTM-300 Turbo Pump
STP-200
TC110 TC-PARAMETERS
Varian 969-9358S002 Turbo Turbomolecular Vacuum Pump
UHV-25-AKC-ENUN
ALCATEL ADIXEN ATP-150 Turbo Pump Turbomolecular Vacuum pump
TMP-203M(CE Marking) 380-1 HORIYAMASHITA HADANO
MICROPUMP
STP-A2203SL
PFEIFFER AIr oooling 24V DC
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