TAZMO牌大气环境用单臂晶圆机器人手臂MTSR系列
TAZMO牌大气环境用单臂晶圆机器人手臂MTSR系列是单臂，由步进马达驱动，适合大气环境使用。
产品规格：
| 手臂型号 | MTSR |
| 马达类型 | 步进马达 |
| 手臂类型 | 单臂 |
| 晶圆尺寸 | 200mm – 300mm |
| 运动轴 | R/T/W/Z |
| 运动范围 | R轴:臂长240mm/行程470mm(不包含末端执行器)
T轴:370deg(原点开始±185deg) W轴:370deg(原点开始±185deg) Z轴:380mm |
| 往返精确度 | X,Y=±0.1mm
Z=±0.05mm |
| 晶圆保持方法 | 真空吸附 |
| 晶圆保持确认 | 真空吸附:数字显示真空传感器
夹持:微型光电传感器 |
| 连接方式 | RS232C RS485 |
| 适用电源 | 动力驱动电源 DC24V 10A控制用电源 DC24V 1.5A真空 -80kPa以下 |
定制项目：
| 晶圆保持机构/End Effector | G:夹持 |
| V:真空吸附 | |
| Z:特制 | |
| N:无 | |
| R:凹槽 | |
| 机械臂长/Robot arm length(L) | 1:192mm 2:240mm 3:150mm |
| 动作轴数/The number of operating axes | 3:3轴规格(圆柱坐标动作) |
| 4:4轴规格(直角坐标动作 及 圆柱坐标动作) |
