高速传输双臂晶圆搬运机器人NEW系列
这款高洁净度晶圆搬运手臂能高速传输、实现高洁净度，是半导体先进制程的理想选择方案。
特征：
手臂型号: NEW
手臂类型: 双臂
晶圆尺寸: 100mm – 300mm
运动轴: R/T/W/Z/P 轴
技术参数：
| 手臂型号 | NEW系列 |
| 马达类型 | 伺服马达 |
| 手臂类型 | 双臂 |
| 晶圆尺寸 | 100mm – 300mm |
| 运动轴 | R/T/W/Z/P 轴 |
| 运动范围 | R1轴、R2轴:臂长179mm/350mm臂可到达最大距离(不包含末端控制器) |
| T轴:340deg | |
| z轴:300mm | |
| 往返精确度 | R1轴、R2轴:±0.1mm |
| T轴:±0.05deg | |
| Z轴:0.05mm | |
| 晶圆保持方法 | 真空吸附 |
| 夹持 | |
| 凹槽（接收盘） | |
| 伯努利 | |
| 晶圆保持确认 | 真空吸附：数字显示真空传感器 |
| 夹持:微型光电传感器 | |
| 凹槽: 微型光电传感器或者无 | |
| 伯努利：反射型传感器 | |
| 连接方式 | RS232C |
| 适用电源 | 单相 AC100V~AC115V+10% 7A 1系統 (AC100V规格) |
| 单相 AC200V~AC230V+10% 5A 1系统 (AC200V规格) | |
| 可选择的有偿设备 | 1. 透过型映射传感器 |
| 2. 夹持 | |
| 3. 反转机(P轴) (步进马达规格、仅限上手掌) | |
| 4.导轨(X轴)更换控制器[仅限200V规格] | |
| 机械臂长 | 1:179mm |
| 2:150mm | |
| 升降行程 | 1:300mm |
| 2:350mm | |
| 电压 | 1:200V |
| 2:100V |
