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关于欣威晟

苏州欣威晟电子科技有限公司,成立于 2013 年;总部坐落于苏州工业园区。公司核心技术团队由50多位设备专家组成,均来自于国际一流半导体设备公司,具备10-20年核心设备研发、组装、调试经验。

引进先进技术、与产业龙头公司及高校联合研发国产验证;基于维修、核心零组件国产化深耕十几年经验,向核心零组件生产领域持续推进并取得突破性进展;同时,在设备翻新及研发制造方面,专注于8-12吋集成电路制造产业,其中12寸设备客户占80%,客户群遍及国内各知名半导体企业。

20+

全国技术服务中心

17+

产品覆盖城市

技术服务中心分布

总部

苏州市工业园区长阳街415号

华东

上海(张江、临港、嘉定)、杭州、宁波、绍兴、合肥、无锡、青岛、厦门、晋江

华西

成都、西安、重庆

华南

广州、深圳

华北

北京、天津

华中

武汉(江夏、东西湖)

业务规划

2013

零组件技术支持

  • 电源: DC, RF, HV
  • 控制器: PC, Driver, PCB
  • RPS: R*evolution MKS 2L, 3L, 4L, 6L, 8L
  • 真空: Turbo pump, Dry pump, Cryo pump, Valve
  • 机械手臂: VTM, ATM
  • 冷冻机: Chiller Repair
  • 基座: Heater, ESC

2018

零组件国产化研发、制造及引入设备翻新

  • 电控: ESC PS, HV PS, TC Control
  • 金属: Shower head, Process Kits, W, Mo
  • 工程材料: Chuck Pin, Spin Chuck
  • 二手设备翻新: CD-SEM, Overlay, Furnace

2020

设备翻新、研发、制造

  • 薄膜: CVD, ECP, WCVD, PVD
  • 刻蚀: Dry&WET ETCH
  • 炉管: Furnace
  • 量测: CD-SEM, Overlay
  • 黄光: Track, Scanner
  • 设备研发制造: SRD, CDS, SDS, LDS
  • 快速退火设备: RTP

我们的使命

欣威晟不断为客户提供高度定制化的设备、零部件和技术支持,响应客户需求,按时按质交货,不断提升客户服务满意度;我们致力于成为中国集成电路制造产业综合性一体化技术服务领导者!

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