MTE

一般环境用高洁净度晶圆搬运手臂MTE系列

SKU MTE Category TAZMO晶圆搬运手臂

手臂型号: MTE
手臂类型: 单臂
晶圆尺寸: 100mm – 450mm
运动轴: R/T/W/Z/P 轴

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Description

一般环境用高洁净度晶圆搬运手臂MTE系列
这款高洁净度晶圆搬运手臂能高速传输、实现高洁净度，是半导体先进制程的理想选择方案。