一般环境用搬运机器人手臂 TT301A-WA 300mm
此款一般环境用搬运机器人手臂为一般环境内的EFEM所研发。成本可控并且能实现高性能运作。
技术参数：
| 手臂型号 | TT301A-WA 系列 |
| 马达类型 | 伺服马达 |
| 手臂类型 | 圆柱坐标双臂 |
| 晶圆尺寸 | 100mm – 300mm |
| 运动轴 | R/W/T/Z |
| 运动范围 | R: 臂长 178mm
T: +185deg Z: 330mm |
| 往返精确度 | R: ±0.1 mm
T: ±0.02deg Z: ±0.05 mm |
| 晶圆保持方法 | 真空吸附
夹持 凹槽（接收盘） 伯努利 混搭（双臂） |
| 晶圆保持确认 | 真空吸附：数字显示真空传感器
夹持:微型光电传感器 凹槽: 微型光电传感器或者无 伯努利：反射型传感器 |
| 连接方式 | RS232C ETHERNET |
| 适用电源 | 单相 AC200V~230V+10% 8A 1系统 |