一般环境用双臂晶圆机器人手臂NTWR系列 – 步进马达驱动
步进马达驱动大气环境使用晶圆搬运机器人。
一般环境用双臂晶圆机器人手臂NTWR系列 – 步进马达驱动
手臂型号: NTWR
手臂类型: 双臂
晶圆尺寸: 100mm – 300mm
运动轴: R1/R2/T/Z
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