手臂型号: MTE 手臂类型: 单臂 晶圆尺寸: 100mm – 450mm 运动轴: R/T/W/Z/P 轴
一般环境用高洁净度晶圆搬运手臂MTE系列 这款高洁净度晶圆搬运手臂能高速传输、实现高洁净度,是半导体先进制程的理想选择方案。