手臂型号: NES 手臂类型: 单臂 晶圆尺寸: 100mm – 300mm 运动轴: R/T/Z
TAZMO单臂晶圆搬运机器人NES系列 晶圆机器人手臂NES系列为单臂款,配备伺服电机,高速、高清洁度,是高性能晶圆搬运的理想选择。