手臂型号: MTSR 手臂类型: 单臂 晶圆尺寸: 200mm – 300mm 运动轴: R/T/W/Z
TAZMO牌大气环境用单臂晶圆机器人手臂MTSR系列 TAZMO牌大气环境用单臂晶圆机器人手臂MTSR系列是单臂,由步进马达驱动,适合大气环境使用。