低真空的机器人TAZMO牌MPL系列，适用100-300mm晶圆传送
低真空的机器人 MPL系列实现了低震动, 低噪音, 可以支持次世代半导体制造装置。
产品规格：
| 手臂型号 | MPL系列 |
| 晶圆尺寸 | 100mm – 300mm |
| 运动范围 | R1轴/R2轴:臂长220mm
430mm臂可达最大距离(不含末端控制器) T轴:360deg(原点开始±180deg) Z轴:上方取付时 66mm(原点开始+64mm/-2mm) 下方取付时104mm(原点开始+104mm/-2mm) |
| 最小回旋径 | 臂長220mm时,半径580mm(到晶圆中心的机械手长370mm时) |
| 往返精度 | R1轴/R2轴:±0.1mm以内
T轴:±0.05deg以内 Z轴:±0.05mm以内 |
| 晶圆保持方法 | 凹槽(接收盘)
请另行指示 |
| 连接方式 | RS232C
通信指令控制 |
| 适用电源 | 单相AC100V~115V+10%
7.5A 1系統 (AC100V规格) 单相AC200V~230V+10% 5A 1系統 (AC200V规格) |
| 电压 | 1:100V 2:200V |
| 机械臂驱动轴数 | 3:3轴(分支臂,R1,R2,θ) 2:2轴(单臂,R,θ) 4:3轴(单臂,X,Y及R,θ) 5:3轴(单臂,R,θ及P) |
| 升降行程 | A:200mm C:300mm E:380mm |
| 机械臂长&节数 | A:130mm 2节 B:170mm 2节 C:220mm 2节 D:300mm 2节 |