手臂型号: NEW 手臂类型: 双臂 晶圆尺寸: 100mm – 300mm 运动轴: R/T/W/Z/P 轴
高速传输双臂晶圆搬运机器人NEW系列 这款高洁净度晶圆搬运手臂能高速传输、实现高洁净度，是半导体先进制程的理想选择方案。
